簡要描述:SC100-PE型勻膠機是一種超高轉(zhuǎn)速精度,并帶有真空數(shù)顯傳感器和水平數(shù)顯傳感器的高精密高檔勻膠設(shè)備。
產(chǎn)品介紹:
名 稱:型勻膠機
型 號:SC100-PE
原產(chǎn)地:美國,USA
應(yīng) 用:SC100-PE型勻膠機是一種超高轉(zhuǎn)速精度,并帶有真空數(shù)顯傳感器和水平數(shù)顯傳感器的高精密高檔勻膠設(shè)備。
產(chǎn)品概述:
SC100-PE型精密勻膠機是一種超高轉(zhuǎn)速、高精度的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,并帶有真空數(shù)顯傳感器和水平數(shù)顯傳感器,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序,使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中的zui大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。
SC100-PE性能參數(shù):
l 主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
l 旋涂程序:可擴展編輯和存貯到無限程序步驟
l 轉(zhuǎn)動速度:0-15,000rpm
l 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
l 轉(zhuǎn)速精度達到±0.1rpm,超高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性;
l 工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step
l 時間設(shè)置精度:0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)
l 旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
SC100-PE產(chǎn)品特點:
l 的內(nèi)部緊湊設(shè)計,縮小了設(shè)備的尺寸。
l 7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
l on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。
l 采用工業(yè)級別伺服電機,電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
l 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,*生銹,便于清洗。
l 透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
l 數(shù)顯真空壓力傳感器,真空值數(shù)字顯示,壓力開關(guān)值可設(shè)置;
l 數(shù)顯水平度傳感器,實時顯示載物盤面的水平度,可通過底腳進行調(diào)節(jié);
l 自帶四個自動點膠端口,更多端口控制可升級。
產(chǎn)品外型尺寸:
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設(shè)備結(jié)構(gòu)